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射頻電漿原理
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實驗十濺鍍實驗講義
以磁控射頻濺鍍的方式在玻璃上鍍鋁,使同學了解濺鍍流程。 實驗原理:. 直流濺射鍍膜系統 ... 電漿中的正離子被陰極板的負電壓吸引加速,具有高能量後,轟.
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