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蕭錫鍊博士合成矽奈米線之電漿化學汽相沉積系統組裝測試

但是，冷壁式電漿化學氣相沉積系統面臨製程上的瓶頸，因此本 ... 3-1-2 電漿鞘產生之原理. ... 圖6-5 電容耦合式射頻電漿電源系統示意圖，其中C為阻斷電容， Va.

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