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半導體製程簡介

IC的製作過程，由矽晶圓開始，經過一連串製程步驟，. 包括光學顯影、快速高溫製程、化學氣相沉積、離子. 植入、蝕刻、化學機械研磨與製程監控等前段製程，. 以及封裝、 ...

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