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【歷史上的今天】搭上EUV熱潮的家登EUV光罩盒很了不起嗎？

從概念上來看，光罩就像是相片的底片，透過微影機台把IC設計投影光刻到晶圓上，因此光罩的品質好壞對製程影響巨大，而裝載光罩的光罩盒也顯得重要起來。

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