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切入最先进制程，联华林德携手宇川精密明年量产TSA - 集微网

... 文/罗伊）联华林德18日宣布将与半导体先驱物质供应商宇川精密合作，预计未来2年投资总计9000万元新台币在台南厂区共同开发三甲硅烷基胺（Trisilylamine，TSA）生产 ...

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