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如何測量電晶體好壞
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高介電材料金屬閘極塊材鰭式場效應電晶體製程參數分析與 ...
... 電晶體之界面的好壞,鰭式場效電晶體之磊晶外延成長的好壞,源極/汲極延伸的長度,以及閘極控制能力等。本研究提供嶄新的測試結構,能夠量測從源極到汲極這整串的線性 ...
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