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半導體先進材料超痕量不純物及奈米粒子分析技術 - 材料世界網

尤其是奈米粒子的量測，當粒徑縮小一半的尺寸時，粒子質量僅有原來質量 ... 奈米以下的先進製程，針對原物料不純物偵測極限的需求也到達ppt等級；而 ...

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