... 可沉積出純度相當高的鉭薄膜,沉積速率可達 1000 奈米/分,但最大缺點是溫度必須高於 700 °C ,在未來 ... ECR 有電漿密度高,離子能量低,基座溫度低,基板自我偏壓低等 ...
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