絕緣膜-- •呼鬥銅佈線形成一阻擋層去除絕緣膜形成圖 4.37 金屬佈線的大馬氏革( damascene )製程 4.10 米技術 4.10.1 米材料與奈米技術的概念奈米是英文 nanometer 的 ...
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