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奈米製程演進
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https://www.semi.org/zh/node/zh-59251
台積電接單滿載、16奈米先進製程將開出,崇越同步受惠| SEMI
受到先進製程持續演進,帶動光罩數量需求增加,如28奈米所需的光罩層數約40道、20奈米約45道、16奈米約55道,加上製程線寬縮小,光阻的曝光光源波長短、感光也更為 ...
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「奈米製程演進」
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