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微影製程 - Benolate

首先，通過金屬化過程，在矽基板上布置一層僅數奈米厚的金屬層。 ... 只有在洞的位置可以讓光透過高能量、波長短的光源，將光罩上的電路圖案轉印到晶圓的光阻劑塗層。

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