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2奈米鍍膜機台首亮相將打入半導體製造龍頭產線

「2023 SEMICON TAIWAN」科專成果主題館開幕，經濟部今天在現場首度展示工研院成功開發的全球複合式原子層鍍膜(Hy-ALD)設備機台，可專攻2奈米以下 ...

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