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2017 年報- 第78頁

... 奈米以下更先進製程的先期準備。在7奈米開發方面，技術已經順利地移轉，研發單位與晶圓廠合作排除微影技術問題。 ... 研發單位持續降低極紫外光技術的成本，減少曝光機光罩 ...

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