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90/130奈米發展的瓶頸與挑戰

台積電微影技術研發總負責人林本堅，曾與日本佳能（CANON）共同發表2010年半導體製程達到50奈米以下時，將會使用到的設備及技術。 ... 台灣目前已有工研院、清大、交大等單位 ...

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