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奈米與半導體產業計量研究室

同時發展GISAXS技術量測疊對(Overlay)，解析度可達0.5奈米以下，提升製程良率。 ... 主管單位：經濟部標準檢驗局 執行單位：工業技術研究院量測技術發展中心 ©2023 NML 國家 ...

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