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Stand-Alone Pre-Aligner

在大範圍的初始基板–位移而需要高對準精度時，它可以與眾多基板操縱裝置實現集成。 基板可以放置在夾頭或預對準器的可選固定引腳上，這取決於機器人的末端執行器的形狀 ...

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