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太陽電漿
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【太陽能】提升發電效率-穿隧氧化鈍化接觸太陽電池
工研院以超薄氧化層及多晶矽層作為背面鈍化堆疊層,可利用既有PERC產線簡單升級,主要關鍵技術在於超薄氧化層及多晶矽層設備及形成製程,避免使用成本昂貴之電漿輔助 ...
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