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太極碳化矽良率
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SiC晶圓製造究竟難在哪? - 電子工程專輯
包括SiC在內的第三代半導體產業鏈包括基板→磊晶→設計→製造→ ... 意法半導體表示,首批200mm SiC晶圓品質上乘,影響晶片良率、晶體位元錯的缺陷 ...
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