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天线效应产生原因及解决办法_seu他山之石的博客-程序员宅基地

一、产生原因. 随着集成电路工艺不断发展，金属互连线越来越复杂，金属层数不断增多，栅氧化层厚度越来越薄，天线效应越加严重。 芯片生产过程中主要使用离子注入和 ...

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