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天線效應

在晶片生產過程中，暴露的金屬線或者多晶矽(polysilicon)等導體，就像是一根根天線，會收集電荷(如電漿刻蝕產生的帶電粒子)導致電位升高。天線越長，收集的電荷也就越 ...

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