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如何在集成電路中減少天線效應 - 壹讀

天線效應 或等離子導致柵氧損傷是指：在MOS集成電路生產過程中，一種可潛在影響產品產量和可靠性的效應。 目前，平版印刷工藝採用「等離子 ...

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