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天线效应（Antenna）原理以及预防- 数字后端的小白的日志

天线效应 （Process Antenna Effect，PAE）在半导体芯片制造过程中，某些工艺上会存在游离的电荷；如等离子刻蚀时，暴露在离子束下的金属或poly会 ...

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