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微机电系统封装 - 第 16 頁 - Google 圖書結果

然而,还有其他大量的材料可用于 MEMS 和微系统的封装,如表 1.3 所示]从表 1.3 可以明显地看出, MEMS 和微系统的封装使用了大量不同类型的材料。

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