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利用大氣電漿束蝕刻PI膜之研究 - 台灣聯合大學博碩士論文系統

而聚亞醯胺材料由於具有良好的物理以及化學性質，已被廣泛應用在半導體工業以及顯示器工業，其有機高分子的結構，與電漿所產生的活性粒子能夠發生反應而被蝕刻與改質。

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