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政府科技計畫成果效益報告 - 行政院原子能委員會

閉生醫器材之大氣電漿滅菌實驗系統及滅菌程序測試，滅菌率. >99.9999 %，處理時間< 25 min。 3.大面積電漿反應器開發。提昇精進Shower Head VHF PECVD 電漿反.

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