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大氣電漿原理
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2009 - 馗鼎奈米科技股份有限公司-Si-Plasma部落格
常壓大氣電漿電漿依照放電形式與結構的不同可以分為四大類: ... 在蝕刻反應中雖然並不具有反應性,但就電漿產生的原理其會決定產生活性粒子的分佈。
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