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纳米压印光刻，能让国产绕过ASML吗？ - 电子工程专辑

多数纳米压印技术均需脱模这一工序，而模板和聚合物间具有较强粘附性，因此，行业时常会在模板表面蒸镀一层纳米级厚度的抗黏附材料，以便轻松脱模。

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