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多晶矽單晶矽差別
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行政院國家科學委員會專題研究計畫期中進度報告
並觀察其變化趨勢,其中直接沉積多晶矽薄. Page 4. 膜之樣品為實驗對照組,與非晶矽薄膜透過. 熱退火轉變成多晶矽薄膜者做比較,以尋找. 最佳的製程條件。 圖2 元件結構 ...
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