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多晶矽介紹
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行政院國家科學委員會專題研究計畫期中進度報告
本篇報告介紹尋找改善多晶矽薄膜品質的 ... 再以10小時900℃熱退火處理所形成之多晶矽薄膜,其介電常數與單晶矽者最為 ... 氣體,沉積3000 Å的非晶矽和多晶矽薄膜,.
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