TCP 9400SE 多晶矽乾蝕刻機儀器簡介. 1. 主要功能: 利用乾式蝕刻之非等向性特性製作特定形狀之圖樣。 2. 可蝕刻材料: (a) 使用六吋矽晶圓沉積前段製程的Si (single-, ...
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