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多晶定義
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https://www.google.com/patents/CN101111925A
用于产生结晶方向受控的多晶硅膜的系统和方法- Google Patents
根据本发明的一个方面,提供一种用于提供具有受控的微结构和结晶纹理的多晶膜的 ... 这里所描述的被定义为混合顺序横向固化(SLS)的工序和系统, 提供特定结晶方向的 ...
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