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可撓性電容式微壓力感測器應用於腳底壓應力之量測 - 校訊

爰此，本實驗室開發一利用微機電技術製作之可撓性電容式微壓力感測器，欲達到微小、高可靠度之目的。在此設計中，以平行板電容原理為基礎，當受到壓力時，兩平行板的 ...

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