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利用智慧型控制之壓電致動器 - 中央大學電機系

三、壓電致動器精密定位系統(續). ❖ 系統說明. ○單軸壓電致動器控制系統. 電容式位移感測器. 驅動電壓連接纜線. 位移感測連接纜線. 移動平台.

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