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WO/2021/031105 压电式MEMS 麦克风 - Patentscope

本发明提供一种压电式MEMS麦克风，包括具有腔体的基底、安装于基底上的压电振膜以及罩设于压电振膜外的限位件，基底包括环形底座、设于环形底座内侧并与环形底座间隔 ...

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