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準確測量高度/氣壓變化電容式壓力計應用需求升溫

MEMS壓力感測器在設計原理上，主要可分為壓阻式與電容式。壓阻式MEMS壓力計結構圖如圖1所示，其結構主要包含基板、薄膜與壓阻材料，其中基板會與薄膜 ...

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