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微細加工技術之微型壓力感測器

本文主要介紹電容式壓力感測器結構與壓阻式感測器比較。 ... 電容式壓力計之感測原理為藉量測薄膜位移變化所導致之電容值變化,以感. 測待測之壓力。

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