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微機電壓阻式壓力感測器之研究與製作

本論文主要是探討當利用體型加工技術來製作壓阻式薄膜壓力感測器時其在製程上所遭遇 ... 由於此壓力感測器的設計原理通常是將數個摻入雜質的複晶矽元件建立在感壓薄膜 ...

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