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壓阻式壓力傳感器 - 求真百科

壓阻式壓力 傳感器是利用單晶硅的壓阻效應而構成。採用單晶硅片為彈性元件，在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝，在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻，並將電阻接成橋 ...

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