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壓阻式壓力感測器原理
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45. 壓阻式感測器是壓力感測器的其中一種,主要原理如下
目前製造矽壓力感測元件最常用的方法是利用擴散法,將硼嵌入單晶矽晶格中形成p-n 接面,此p-n 接面即為壓阻元件,可以用來感測矽晶隔膜上的壓力變化。如圖所示,其中電阻R1 ...
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