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壓力感測器元件
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https://www.tiri.narl.org.tw/Files/Doc/Publication/InstTdy/212/02120260.pdf
電容與電阻感測器與讀取電路系統整合設計
之電路元件,而電容式感測器(capacitive sensor) 通 ... 透過改變感測間隙大小來偵測壓力訊號 ... 而,透過CMOS-MEMS 技術可以將感測器元件與.
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