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適用穿戴式裝置的電容式氣壓感測器 - 電子工程專輯

典型的小型微機電系統(MEMS)壓力感測器主要是以壓阻(piezo-resistive) ... 採用電容式感測原理的壓力感測器元件，在溫度發生變化時也可確保高精度。

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