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日本开发SiC新技术，能将缺陷降至原来的1%

这种方法能将结晶缺陷数量降至原来百分之一，提高了半导体生产的成品 ... 用于抛光高硬度碳化硅由于即使使用金刚石浆液（以下简称“浆液”）抛光速度也 ...

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