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塗佈機原理
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第一章 前言
微影製程主要包括光阻塗佈、曝光、顯影、去光阻等程序, ... 以電極中間間隙產生的電子來衝擊通過之空氣氧分子,原理類似自然. 界之電擊現象。另一種技術為電漿法(cold ...
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