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塗佈機原理
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直流伺服馬達於高速旋轉式塗佈機的應用研究
本論文研究直流伺服馬達特性及應用於旋轉塗佈系統與微影製程的原理和特性, ... 用來提升旋轉塗佈機運轉過程中動態及靜態的穩定度,以期望改善塗佈薄膜的厚度及均勻度 ...
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