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場發射電子顯微鏡(FE-SEM) - airTMD

解析度 a.1 nm (Acc. V=15 KV, WD=3 mm) b.1.4 nm (Acc. V=1 KV, WD= 1.5 mm). 2.加速電壓範圍：0.1~30 KV. 3.電子槍：Cold Field Emission Electron Gun. 限制說明.

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