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SEM - 電子顯微鏡介紹 - 材料世界網

SEM的主要工作原理為電子鎗透過熱游. 離或是場發射原理產生高能電子束，經過電磁透鏡組後，可以將電子束聚焦至試片上，利. 用掃瞄線圈偏折電子束，在試片表面上做二度空間 ...

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