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垂直度量測方法
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工業精密量測- 討論平行度在實際測量上會遇到的困難之處
然而,事實往往並非如此,如圖2c所示,樣品放置的載台平面可能是有自己的曲翹狀況,雖然有進行樣品周圍對焦分析此平面的平坦狀況(計算後載台平面),但是樣品和載台表面若有 ...
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