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非均質矽鍺奈米線在高靈敏度生物感測器之新穎應用

... 利用矽鍺氧化時的鍺析出現象，我們成功製作出非均質結構，並探討此製程技術最重要的溫度因素，最後證實非均質矽鍺奈米線比均質化的奈米線有更高的感測能力。

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