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深次微米矽製程技術 - 第 294 頁 - Google 圖書結果

在晶圓上的磁場則是非常的低,比較不會有電子分佈不均勻的結果。 ... 磁鐵(多極) N 磁場(磁力線) S S 磁場牆 N S S 晶圓) N 電子軌道電極 S S 反應器牆 N 圖 7.6 磁限制 ...

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