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四點量測原理
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碩士論文矽鉻靶材及濺鍍條件對薄膜電阻特性影響之研究
薄膜的沈積原理主要是探討靶材原子沉積於基板上時,與基板表面相互反應 ... 用四點探針量測薄膜面電阻時,會因為四根探針壓入薄膜表面的深淺而有所.
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